利用电磁波传输之速度与时间，以量测距离之仪器为电子测距仪。此种仪器因采用电磁波频率之不同，区分为光电测距仪与微波测距仪两大类，前者系1947年瑞典之柏格斯吉拉特（Erik Bergstrand）所发明，通常用钨丝灯、水银灯、红外线或雷射为光源，故亦称光波测距仪或大地测距仪。施测时，测线一端设置测距仪，另端置一反射镜，即可从事观测二、三公里以内之短程量距，均采用此类型仪器。后者为1957年南非之伟特立（T. L. Wadley）所发明，此一类型之仪器，则利用无线电微波，测线两端均须架设仪器，同时观测，测程可自数十公尺长至百余公里，且如有雨雾，通视情况欠佳，对测距亦无妨碍，故多用于远距离测量。见电子测距系统。