光刻是什么意思_英文-名词-组词典

为一种平版印刷技术，用以转移电路设计图和晶片上的电子元件到晶圆上。晶圆上先涂有对光敏感的膜（抗光蚀），被透过光罩上的光照射到的部份会变硬，以利后续处理。