空压伺服机构之基本形式如同液压伺服机构（参见hydraulicservo mechanism)，仅其工作流体由高压油源改为高压气体源。空压伺服之分析较不被注意，其主要原因系因高压气体之可压缩性很大，可压缩流体之统御方程式为非线性相当复杂不易分析。伺服阀必须打开很久好让气体流入空压缸内，有足够的压力推动活塞运动，无法像液压伺服机构仅须少量之油源即可达成目标。此外，有相当部分之能量用来克服摩擦生热及气体膨胀所耗损之能量。还有一部分之能量用来克服无法完善密封所产生之泄漏损失。虽然空压伺服机构有上述之诸多缺点，但它却有电气伺服及液压伺服所无法具备的优点，可以操作在500°C以上之高温环境中。目前控制系统辅助设计应用软体之普遍，对于此等非线性之空压伺服系统应可进行较深入之研究。其应用范围相当广泛，诸如飞行载具之控制翼或机械臂之控制等。